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新型的掃描探針顯微鏡（SPM）和掃描電子顯微鏡（SEM）關(guān)聯(lián)成像系統(tǒng)介紹

瀏覽次數(shù)：1365　發(fā)布日期：2019-1-13　來(lái)源：本站　僅供參考，謝絕轉(zhuǎn)載，否則責(zé)任自負(fù)

LiteScope™是一種獨(dú)特的掃描探針顯微鏡（SPM）。它設(shè)計(jì)用于輕松集成到各種掃描電子顯微鏡（SEM）中。組合互補(bǔ)的SPM和SEM技術(shù)使其能夠利用兩者的優(yōu)勢(shì)。使用LiteScope™及其可更換探針系列，可以輕松進(jìn)行復(fù)雜的樣品分析，包括表面形貌，機(jī)械性能，電性能，化學(xué)成分，磁性能等的表征。

相關(guān)探針和電子顯微鏡™（CPEM）結(jié)合了SPM和SEM技術(shù)。 CPEM可以同時(shí)在同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)中同時(shí)獲取同一區(qū)域的SPM和SEM圖像。結(jié)合SPM和SEM成像方法可以得到分析區(qū)域的更廣泛的信息光譜，從而揭示兩種圖像中可能存在的等同性和不一致性。