SPM-FIB-SEM系統(tǒng)聯(lián)用在集成電路失效分析中的應用
相關探針和電子顯微鏡（CPEM）是一種結合掃描電子顯微鏡（SEM）和掃描探針顯微鏡（SPM）的新技術。 集成電路中的目標層可以通過SEM和SPM在同一地點，同時和相同的協(xié)調(diào)下進行分析系統(tǒng)。CPEM圖像包含表面形貌信息以及典型的SEM細節(jié),SPM / FIB / SEM技術的集成顯著簡化了用于故障分析，質(zhì)量控制和集成電路研發(fā)的去層過程./imgproduct/userfiles/2019012251595464.pdf
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